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超純氮氣純化氮氣凈化機概述：
本系列裝置以深冷法制氮、PSA變壓吸附制氮，氮膜分離制氮的普通氮氣為原料，經過加氫催化除氧，冷凝、吸附二級干燥，過濾，除去氮氣中的雜質氧、二氧化碳、水份和塵埃，獲得高純度的氮氣。用戶對純氮中的含氫量有特殊要求時，可以通過工藝手段來控制氮氣中的氫氣含量。若原料氮的氧含量超過0.1%時，則可用加氫除氧和除氫的方式來獲得無氫高純氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，則采用化學除氧工藝方法。
鑒于用戶對最終氮氣的要求，本裝置采用特制小顆粒催化劑，二級并聯裝置來保證設備最終純氣氧含量及露點要求，缺點是壓降有點高，約等于0.1mpa
本方案采用化學除氧工藝，加微量氫再生
二．超純氮氣純化氮氣凈化機工藝流程圖
三．超純氮氣純化氮氣凈化機技術參數：
原料氮氣：
1、處理氣量：≥60Nm3/h
2、原料氮氣純度：液氮純度＞99.999%
3、工作壓力：≤0.8Mpa
4、電 源：380V
5，占地面積：長1400mmx寬1100mmx高2000mm
純化后氮氣純度符合并高于GB/T8979-2008高純氮99.9999%指標
1、處理氣量：≥60Nm3/h
2、氮氣純度：含氧量≤0.1PPm H2＜0.1ppm
露 點≤-70℃ CO2＜0.1ppm
3、工作壓力：≤0.8Mpa
4、電 源：380V 50HZ
5、除氧器工作溫度：常溫
6、干燥器工作溫度：常溫
7、除氧器再生溫度：300℃
8、干燥器再生溫度：350℃
9、裝機功率：10KW
四．超純氮氣純化氮氣凈化機工藝流程簡介：
本裝置采用復式流程，一組工作同時另一組再生，兩塔交替工作，
再生周期24小時，以保證設備的連續供氣。
原料氮氣首先通過一氧化碳燃燒塔用特殊催化劑，催化燃燒生成二氧化碳經除氧器吸附去除氮氣中的氧氣，再經過干燥器吸附去除原料氮中的水份和部分碳系化合物，得到的干燥純度極高的氮氣經過濾器送工藝點使用。
除氧干燥階段復式流程介紹：
Ⅰ組工作：原料氮氣首先通過原料氣流量計經Ⅰ組進口閥進入Ⅰ組除氧器和干燥器吸附去除原料氮中的氧、水份和部分碳系物質得到干燥的高純氮氣，再經過濾器送工藝點使用。
Ⅱ組再生：取一部分干燥的氮氣通過再生流量計同時加入少量的氫氣再生除氧器和干燥器，再生氣通過放空閥放空，再生結束后停止加熱，等待Ⅰ組工作24小時后互相切換，交替進行工作再生。
